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12月20日光刻机（胶）板块较上一交易日下跌0.5%，西陇科学领跌。当日上证指数报收于3073.77，下跌1.07%。深证成指报收于10949.12，下跌1.58%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：

从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流出3.37亿元，游资资金净流出2772.95万元，散户资金净流入3.65亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：

北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为54.59亿元，减持0.17亿元。其中增持最多的是上海电气，增持了947.45万元。减持持最多的是万业企业，减持了910.3万元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：